高純六氟化硫在常溫常壓下呈氣態(tài)，裝瓶后為高壓液體。無色、無臭、無毒、不燃。具有良好的化學(xué)穩(wěn)定性和熱穩(wěn)定性。近年來在許多消費(fèi)技術(shù)范疇中，越來越顯現(xiàn)出它的重要性。高純六氟化硫是我國科研、消費(fèi)等許多部門急需的特種氣休。

　　在半導(dǎo)體工業(yè)巾用于等離子蝕刻工藝，在光導(dǎo)纖維制造中用作隔離層摻雜劑。還是重要的激光資料，在其它范疇也有重要用處。由于良好的絕緣性和滅弧性，氣體被普遍應(yīng)用于電器工業(yè)，如斷路器、高壓開關(guān)、高壓變壓器、高壓傳輸線、互感器等。詳細(xì)的應(yīng)用表現(xiàn)在以下幾方面。

　　高純六氟化硫還因化學(xué)惰性及無毒、不燃及無腐蝕性，普遍用于金屬冶煉及大氣示蹤、電子制造等行業(yè)，電子級高純的拂曉六氟化硫是一中理想的電子蝕刻劑，大量應(yīng)用于微電子等技術(shù)范疇。冷凍工業(yè)中，高純六氟化硫可作為致冷劑，拂曉六氟化硫致冷范圍在-45℃-0℃之間。

　　電氣工業(yè)應(yīng)用拂曉六氟化硫作為很高介電強(qiáng)度和良好的滅電弧性能，用作高壓開關(guān)、大容質(zhì)變壓器、高壓電纜、氣體絕緣資料等。六氟化硫氣體還能夠作為采礦工業(yè)用作反吸附劑，在礦井煤塵中可用于置換氧。