六氟化硫氣體除在組成過程中發(fā)作的雜質(zhì)外，在氣體的充裝過程中還或許混入少數(shù)的空氣、水分、和礦物油等雜質(zhì)，這些雜質(zhì)均帶有或會發(fā)作必定的毒性物質(zhì)。因而，為確保純度和質(zhì)量，對出廠的六氟化硫均擬定了質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)，并要求生產(chǎn)廠家在供貨時供給生物實驗無毒證明書。

　　電器設(shè)備內(nèi)的aSF6氣體在高溫電弧發(fā)作效果時而發(fā)作的某些有毒產(chǎn)品。例如：SF6氣體在電弧中的分化和與氧的反響：會生成氟化亞硫酰、四氟化硫酰 、氟化硫酰等有毒物質(zhì)。電器設(shè)備內(nèi)的六氟化硫氣體分化物與其內(nèi)的水分發(fā)作化學(xué)反響而生成某些有毒產(chǎn)品。

　　例如：SF6氣體分化物與水的繼發(fā)性反響生成氫氟酸、二氧化硫、硫酸等、電器設(shè)備內(nèi)的SF6氣體及分化物與電極（Cu-W 合金）及金屬資料（AL、Cu）反響而生成某些有毒產(chǎn)品。六氟化硫氣體及分化物與電極或其它資料反響： ALF3（固態(tài)粉末）ALF3（固態(tài)粉末）CuF2（固態(tài)粉末） 等固態(tài)粉末、電器設(shè)備內(nèi)的SF6氣體及分化物與絕緣資料反響而生成某些有毒產(chǎn)品。

　　如與含有硅成分的環(huán)氧酚醛玻璃絲布板（棒、管）等絕緣件；或以石英砂、玻璃作填料的環(huán)氧樹脂澆注件、模壓件以及瓷瓶、硅橡膠、硅脂等起化學(xué)效果，生成SiF4、Si（CH3）2F2等產(chǎn)品。 以上這些六氟化硫氣體高溫分化的產(chǎn)品都會導(dǎo)致六氟化硫氣體純度不純的問題。咱們在選購的時分首先要防止，找正規(guī)廠家購買，并順便產(chǎn)品檢測陳述。